大多数工程师对于外延这个工艺比较陌生，外延工艺在半导体器件制造中起到了重要的作用。外延工艺可以用在不同的芯片产品中，不同的产品外延的种类也不同，有Si外延，SiC外延，GaN外延等等。

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分子束外延（MBE）:分子束外延）是一种在超高真空条件下进行的半导体外延生长技术。在此技术中，源材料以原子或分子束的形式被蒸发，然后沉积在晶体衬底上。MBE是一种非常精确且可控的半导体薄膜生长技术，它可以在原子级别精确控制沉积的材料厚度。

气相外延（VPE）:气相外延是一种常用于生产半导体设备的重要技术。其基本原理是在载气中输送单质或化合物的蒸汽，通过化学反应，在基片上沉积出晶体。返回搜狐，查看更多